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[光學] 中大研發三合一薄膜測量器

[光學] 中大研發三合一薄膜測量器

分類標籤: 科技文摘  光學  光電
[光學] 中大研發三合一薄膜測量器(英文版

《聯合新聞網》(2012/07/04)相機、攝影機,甚至人造衛星等有光學元件的產品,都需要薄膜技術,但是薄膜的檢測儀器一臺就要好幾百萬。中央大學理學院院長李正中的研究團隊研發「三合一」薄膜測量器,一臺儀器可以同時量測薄膜厚度、折射率和表面輪廓,降低成本、縮短作業時間。他們的研究成果發表在去年的國際光學期刊《Optics Letter》,正申請臺灣、美國、日本的專利,上個月臺北國際光電展中,也有不少儀器廠商向他們接洽。

李正中說,薄膜科技是能夠提升產品及產業價值的重要技術,最重要的3個數據就是厚度、折射率和表面輪廓;鍍膜後需要量測才能確保品質,許多半導體廠、平面顯示器廠都有需求。

然而,目前國內必須依賴進口的昂貴儀器,而且沒有儀器可以一次測量3個數據;必須購買多臺儀器,成本高,還要花許多時間分開測。

李正中表示,他們開發的儀器準確率與現行的橢圓偏振儀等儀器相同;同時不怕震動、量測快速,可以在生產線上檢測。


資訊來源:
聯合新聞網 2012/07/04

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